รายงานจากทาง The Information เผยว่าตอนนี้มีโรงงานในประเทศจีนที่สามารถผลิตเครื่อง DUV ด้วยตัวเองได้แล้ว โดยโครงการนี้ ทางจีนได้ดึงทีมวิจัยและพัฒนาสาย DUV จากหลายบริษัทจีนมาร่วมกันพัฒนา หนึ่งในนั้นคือสตาร์ตอัปที่รัฐหนุนหลังอย่าง Shanghai Yuliangsheng Technology ซึ่งเป็นชื่อที่วงการชิปจีนจับาตามองกันมาสักระยะแล้ว ทั้งนี้ทาง The Information ไม่ได้บอกชื่อผู้ผลิตเครื่อง DUV อย่างชัดเจน แต่แหล่งข่าวระบุว่า SMIC ได้ทดสอบเครื่อง immersion ของ Yuliangsheng มาตั้งแต่เดือนกันยายน 2025 แล้ว ถือเป็นก้าวสำคัญบนเส้นทางการพึ่งพาตนเองด้านเครื่องมือผลิตเวเฟอร์ของจีน โดยเครื่อง immersion DUV สามารถพิมพ์ลายระดับ 28 นาโนเมตรได้ในการฉายแสงครั้งเดียว และสามารถไปได้ไกลถึงระดับ 7nm ด้วยเทคนิค multipatterning (การฉายซ้ำหลายรอบเพื่อซอยลายให้ละเอียดขึ้น) แต่ต้องแลกมาด้วยความคลาดเคลื่อนในการวางซ้อนชั้นที่สูงขึ้น และอัตราผลผลิตหรือ Yield ที่ต่ำลง รวมถึงต้นทุนและเวลาการผลิตที่เพิ่มขึ้น อย่างไรก็ตาม เครื่อง DUV ที่ว่านี้ยังไม่ได้ใช้วัสดุจากในประเทศจีน 100% แหล่งที่มาบอกว่า แม้ว่าชิ้นส่วนส่วนใหญ่จะหาได้ในประเทศ แต่ชิ้...